海立股份：为上海微电子提供光刻机冷却系统且与上海微电子同一母公司

海立股份为上海微电子提供封装光刻机冷却系统

10月26日下午，海立集团与上海微电子装备集团举行战略合作协议签约仪式，微电子装备集团董事长干频指出，希望双方以封装光刻机的冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作；进一步做强专业力量，孵化出特、精、专的优秀团队；

海立股份和上海微电子开展共