2023年全球半导体炉管设备市场规模大约为2407百万美元，预计2030年达到3645百万美元，2024-2030期间年复合增长率（CAGR）为6.1%。就销量而言，2023年全球半导体炉管设备销量为 ，预计2030年将达到 ，年复合增长率为 %。
半导体炉管是氧化、扩散、退火工艺所用的设备。
氧化：在制造集成电路的过程中，半导体炉管设备用于在硅衬底上形成二氧化硅（SiO₂）层，这是制造MOS（金