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光刻技术攻克后，要实现光刻机量产还有不少的时间。特别是需要几万个零部件要达到高精准度的高端光刻机，其中的关键高精度零部件比如镜头、光源、轴承等，目前国内产业链还达不到，也需要联合攻关才能取得，这需要花费不少的时间。就如中科院微电子所院士所说，在光刻机方面国内与国外先进相比相差15-20年的距离。

光刻机目前的市场几乎被荷兰ASML、日本尼康和佳能、中国上海