光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、 X射线等照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。光刻胶目前被广泛用于光电信息产业的微细图形线路加工制作， 约占IC制造材料总成本的4%，是重要的半导体材料。[图片]