[图片]



ASML最先进的浸没式光刻系统:DUV——全球工艺集大成者
TWIN SCAN NXT:2000i DUV(双工作台深紫外光刻机)是ASML最先进的浸没式光刻系统 ,是极紫外光刻机EUV前的重要过渡产品,也是后期7nm/5nm产能的重要补充。
[图片]

光刻机:这是一种集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别