被誉为芯片命门的光刻机一直是压制我国半导体行业发展的一个卡脖子领域,也是半导体发展绕不过去的环节,光刻机是目前晶圆制造产线中成本最高的半导体设备。根据格罗方德,光刻设备约占晶圆生产线设备成本27%,光刻工艺占芯片制造时间40%-50%。光刻机研发到底有多难?
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做出一个芯片大概需要3000步工序,由于每一步都是“硅上雕花”,有一定失败概率,三千步下来,要想让最终的成品