1、硅片：沪硅产业（国内第一个300mm硅片厂）。
2、EDA工具软件：美国三大厂垄断，国内龙头华大九天。
3、光掩膜板：清溢光电（国内唯一、香港私企）。
4、光刻机：上海微电子28nm。
5、光刻胶材料：日本垄断，华懋科技（拥有30%徐州博康股权，EUV光刻胶单体发明生产者）。
5、去除曝光显影部分涂胶，以成型后的光刻胶晶圆片为蓝图进行刻蚀、沉积、离子注入。
6、涂胶烘焙显影一体机：日本垄断，芯