一、上游半导体设备：

1、刻蚀机：北方华创、中微公司；

2、光刻机：上微集团、华卓清科；

3、PVD：北方华创；

4、CVD：北方华创、中微公司、沈阳拓荆；

5、离子注入：中科信、万业企业；

6、炉管设备：北方华创、晶盛机电；

7、检测设备：精测电子、华峰测控、长川科技；

8、清洗机：北方华创、至纯科技、盛美半导体；

9、其他设备：芯源微、大