半导体设备是整个半导体产业的重要支撑产业，中国半导体设备市场的规模增长得益于中国半导体全行业的蓬勃发展和国家近年来对半导体产业持续的政策扶持。根据SEMI的统计，中国半导体设备的市场规模增速明显，从2017年的554.18亿元增长至2020年的1260.62亿元，已成为全球第一大半导体设备市场。
从品类上看，半导体设备可分为前道工艺设备（晶圆制造环节）、后道工艺设备（封装测试环节）和其他设备（主要