芯片产业链。

1、EDA软件：华大九天、广立微、盖伦电子。

2、FPGA：安路科技、复旦微电、紫光国微。

3、设备。

（1）光刻机：上海微电子（未上市，张江高科持股）。

（2）刻蚀机：中微公司、北方华创。

（3）薄膜沉积设备：北方华创、拓荆科技。

（4）原子层沉积设备：拓荆科技。

（5）化学机械抛光设备：华海清科。

（6）清洗设备：盛美上海、北方华创、芯源微。

（7）离子注入机