什么是光刻机
光刻机（Lithography Machine）是一种半导体工业中常用的设备，用于将电路图案转移到半导体芯片上。在制造芯片时，需要使用光刻机将电路图案“镀”在芯片表面上，以便进行后续的加工工艺。
光刻机的基本工作原理是利用光学原理将图案投射到硅片上。光刻机主要由光源、凸透镜、光刻胶和控制系统等组成，其中光源发出紫外线或可见光，凸透镜将光线聚焦到光刻胶上，而控制系统则控制光刻胶的曝光时