部分芯片核心股汇总：

一、设备

























（1）光刻机：上海微电子（未上市，张江高科持股）
（2）刻蚀机：中微公司、北方华创
（3）薄膜沉积设备：北方华创、拓荆科技
（4）原子层沉积设备：拓荆科技
（5）化学机械抛光设备：华海清科
（6）清洗设备：盛美上海、北方华创、芯源微、至纯科技
（7）离子注入机：万业企业
（8）涂胶显影设备：芯源微
（9）去胶设备：