近日，国泰基金中证半导体材料设备主题ETF获批，有望于近期发行。$中芯国际(sh688981)$7.2日，易方达基金、富国基金、华夏基金、广发基金均上报了中证半导体材料设备主题ETF，目前证监会已接收相关材料。研究机构认为，光刻机、关键核心层的刻蚀、金属层的薄膜沉积、离子注入、检测设备等难度较大的设备目前国内替代率低，从工艺制程覆盖角度看，国内主流设备厂商在多个环节可覆盖28nm及以上的应用可实现