(一)
全球最大半导体设备厂美国应用材料公司5月17日宣布,将以钴金属全面取代铜作为导线材料。此举将提升导电性、降低功耗并大幅减小芯片体积,使芯片效能更优越。 应材公司成功运用钴金属材料取代铜,让摩尔定律得以延伸推进到7nm甚至到5nm和3nm,预料台积电等晶圆厂7nm的量产脚步加速。 应材表示,目前各大晶圆制程厂已导入在7nm制程采用这项新的材料革新,如果成效良好,不排除可能在7nm就可以看到导