光刻机，光刻机，光刻机，重要的事情说三遍，秒杀华峰股份一亿光年

Epolith A1600是我国首台全自主知识产权的90nm节点ArF光刻机曝光光学系统，其研发成功代表我国在高端光刻机曝光光学系统 领域成功打破国外技术垄断，标志着我国超精密光学事业实现了从无到有的历史性跨越，书写了中国高端制造的新篇章。

中国研究团队九年出一大科技成果 首套国产高端光刻机成功曝光！

中国首套