中新网成都11月29日电 (记者 孙自法)由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备项目29日在成都通过验收，作为项目重要成果之一，中国科学家已研制成功世界上首台分辨力最高的紫外(即22纳米@365纳米)超分辨光刻装备，并形成一条全新的纳米光学光刻工艺路线，具有完全自主知识产权。
[/table] 中科院光电所所长、超分辨光刻装备项目首席科学家罗先刚研究员介绍说，2012年