2018-12-18时报财富资讯（星期二）
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国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线、相关公司受关注
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·今日头条·
国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线、相关公司受关注
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据媒体报道，中微半导体设备（上海）有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀