·国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线 相关公司受关注·
中微半导体设备（上海）有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机最近经台积电验证，性能优良，将用于全球首条5纳米制程生产线。台积电计划明年进行5纳米制程试产，预计2020年量产。
刻蚀机是芯片制造的关键装备之一，曾是一些发达国家的出口管制产品，但随着我国技术突破，这种高端装备在出口管制名单上消失了。中微半导体是国内半导体行业首屈一指的、具有完全