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日本产业技术综合研究所采用微波等离子体CVD（化学气相沉积）法，首次利用气体制作出体积1立方厘米级的无裂纹单晶金刚石。此次采用容易扩大合成面积的气体为原料，制作出全球最大级的高品质晶体，这一成果是向实现大型晶圆迈出的重要一步。
功率半导体广泛应用于电力基础设施、汽车、铁路车辆、工业设备及家电等各种产品和设备，是支撑这些产品和设备实现高