全世界只有中国有技术采集到激光固态6倍频的深紫外线相干光。

深紫外线相干光的获得方法有三种，同步辐射光源，准分子激光器，和固态激光倍频晶体

前面两种很多国家都有技术做，但是得到的深紫外线相干光有很多缺点，比如同步辐射不能小型化，做出来的机器很大，无法应用到小型的科研设备比如光电子谱仪，光电显微镜等。193nm光刻机就是个例子。。。很大，而且得到的光束单色性不好，要获得特定狭带宽波长的效率过