今天，耐威科技





8英寸MEMS芯片生产线





首台设备正式搬入





路东区新落成的厂房内




据了解





该项目建成后将成为





北京首条商业量产、全球业界最先进的





8英寸MEMS芯片生产线





最终达产后将形成





年投片3万片/月的生产能力









　　微机电系统(MEMS)是指用微机械加工技术制作的包括微传感器、微制动