光刻机是在整个芯片产业链当中最核心的一个设备，也是技术最复杂最尖端的一个设备




目前一台高端的光刻机有上万个零部件构成（整机光刻机包含曝光系统(照明系统和投影物镜)、工件台掩模台系统、自动对准系统、调焦调平测量系统、掩模传输系统、硅片传输系统、环境控制系统、整机框架及减振系统、整机控制系统、整机软件系统等）
这些零部件有很多都是定制的，甚至有一些零部件都需要工程师经过机械慢慢打磨出来。