在现有的半导体工艺体系下，7nm以下的制程必须要用到EUV光刻机，而作为全球EUV光刻机的唯一供应商，荷兰的ASML公司的EUV光刻机的一直都是供不应求。近日，ASML公又进入到半导体检测设备领域，推出了第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，适用于5nm及更先进工艺，使得速度提升600%。
随着制程工艺不断提升，晶圆的制造也越来越复杂，这也会导致晶圆中的错误更多，HMI eScan1