装备材料基金入股华卓精科，万业企业布局光刻机双工台

近日，上海半导体装备材料基金宣布已成功入股华卓精科。据华卓精科官网显示，其生产的光刻机双工件台，打破了ASML公司在光刻机工件台上的技术垄断，成为世界唯二掌握双工件台核心技术的公司。万业企业作为装备材料基金的主要LP，通过基金入股，迅速布局光刻机双工台核心设备。



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