1.光刻机概念
美凯龙直接参加了华卓精科的二轮融资和增发
华卓精科生产的光刻机双工件台，打破了ASML公司在光刻机工件台上的技术垄断，成为世界第二个掌握双工件台核心技术的公司。
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点评：华卓精科在光刻机双工件台技术上的突破，为我国自主研发65nm至28nm双工件干台式及浸没式光刻机提供了技术赋能。华卓精科专注于集成电路装备技术研发及产业化，在集成电路制造用前道光刻机的重要部件双