上游半导体设备：
1、刻蚀机：
北方华创、中微公司

2、光刻机：
上微集团、华卓清科

3、PVD：
北方华创

4、CVD：
北方华创、中微公司、沈阳拓荆

5、离子注入：
中科信、万业企业

6、炉管设备：
北方华创、晶盛机电

7、检测设备：
精测电子、华峰测控、长川科技

8、清洗机：
北方华创、至纯科技、盛美半导体

9、其他设备：
芯源微、大族激光、锐科激光

上游半导体材料：
1、