拓荆科技----大股东就是国家集成电路投资基金持股35.3%
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沈阳拓荆科技有限公司成立于2010年4月，是由海外专家团队和中科院所属企业共同发起成立的国家高新技术企业。拓荆公司致力于研究和生产世界领先的薄膜设备，两次承担国家科技重大专项。2016年、2017年连续两年获评“中国半导体设备五强企业”。
公司拥有12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积设备）、ALD