集微网消息(文/小如)据苏大维格官方透露,大型紫外3D直写光刻设备iGrapher3000,在苏大维格科技集团下线,并投入工业运行。

iGrapher3000主要用于大基板上的微纳结构形貌的3D光刻,是新颖材料、先进光电子器件的设计、研发和制造的全新平台。


图片来源:苏大维格

iGrapher3000此次安装在维业达科技有限公司黄光车间,首个工业应用项目是大尺寸透明导电膜的深槽结构