7月28日消息 苏大维格科技官方宣布，大型紫外 3D 直写光刻设备 iGrapher3000下线并投入工业运行。iGrapher3000 主要用于大基板上的微纳结构形貌的 3D 光刻，是新颖材料、先进光电子器件的设计、研发和制造的全新平台，堪称为光电子产业基石性装备，为产业合作创造新机遇。

从集成电路图形的平面光刻，迈向光电子的 “微结构形貌”的 3D 光刻，iGrapher3000 为新颖材料