一种光刻机曝光使用夹具
本技术涉及一种光刻机曝光使用夹具。
技术介绍
光刻胶又称光致刻蚀剂，它是一种对光敏感的有机化合物，它受紫外线曝光后，在显影液中的溶解度会发生变化。负性光刻胶：曝光前，可溶于显影液；曝光后，曝光区域光刻胶会因为交联而变的不可溶解于显影液。负胶显影后会图形会发生收缩或膨胀，引起光刻图形变形。正性光刻胶：曝光前，光刻胶不容易于显影液；曝光后，曝光区域可溶于显影液。正胶显影不会收缩