半导体芯片材料之父：硅烷暴涨85%！硅烷概念股汇总

硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体

每年数以千吨计的硅烷在工厂里被加工成超纯半导体硅，数以百吨计的气体被用于制造各种各样的新材料和新器件。硅烷不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等)。已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体, 用于各种微电子薄膜制备, 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅