硅烷！第三代半导体碳化硅氮化镓核心材料硅烷概念股汇总！

硅烷不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等)。已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体, 用于各种微电子薄膜制备, 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深发展: 低温外延、选择外延、异质外延。
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具体硅烷介绍，可以参见百度百科。据了解，我国电子和大规