我国全面实施“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项
2009-03-27 14:36:03　来源: 新华网　跟帖 0 条 新华网北京３月２７日电（顾瑞珍、丁可宁）记者２７日从科技部获悉，我国“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项进入全面实施阶段。

据介绍，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项旨在开发集成电路关键制造装备，掌握具有自主知识产权的成套先进工艺及相关