2009年3月26日下午，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”推进会在科技部隆重召开，科技部、国家发展改革委、财政部、工业与信息化部、中国科学院、北京市政府、上海市政府等专项领导小组成员单位的领导出席会议，科技部万钢部长等领导做了重要讲话。会议的召开标志着“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项进入全面实施阶段。

重大专项是实现我国中长期科技发展规划的一项重要内容，党