电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的的净化愈加关键和重要。目前国内的超高纯度净化技术主要依赖进口，自身的技术水准（6N）与国际先进水平(8-9N)有较大差距。本项目将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低