5月20日从科技部获悉，日前，科技部重大专项办公室及电子与信息板块重大专项监督评估组有关专家，与华芯投资管理公司(负责国家集成电路产业投资基金管理和运营)就加快我国集成电路装备及零部件发展进行了专题交流。

座谈交流中双方一致认为， 十三五”期间要以科技、产业、金融等多种手段深度结合的方式，形成推动集成电路装备发展的合力，进一步推动技术成果的产业化，帮助重点企业做大做强。

后续双方将密切互动，共