中国芯片原材料重大突破：高纯度硅烷实现量产
发表时间：2014-12-23 13:35:38
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关键字: 交通大学芯片硅烷高纯度硅烷集成电路高纯晶体硅平煤神马集团新技术
12月21日，《中国科学报》报道，上海交通大学教授肖文德领衔研发的具有自主知识产权的硅烷大规模生产新技术600吨/年中试生产项目，在河南平煤神马集团试车成功，并已连续稳定生产出纯度大于99.9999%的高品质硅烷产