MOCVD是将MO源与高纯氨气等特种气体在MOCVD设备中发生反应，并在衬底表面生成GaN等化合物半导体薄膜的过程，其核心原材料和设备包括MO源、衬底材料、特种气体和MOCVD设备。


南大光电是全球主要的MO源生产商，2019年全球市占率超过30%，国内市占率第一，主要产品有三甲基镓、三甲基铟、三乙基镓和三甲基铝等，产品纯度达到6N水平，全面达到国际先进水平，在MO源领域公司已经实现进口替代并