光刻机，集成电路制造中最关键设备,对芯片制作工艺有着决定性影响，超精密制造技术皇冠上的明珠，也是目前我国被卡脖子最严重的高科技设备。
上海微电正致力于研发28纳米浸没式光刻机，预计在2023年底将国产第一台SSA/800-10W光刻机设备交付市场。上海微电是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。国内工业4.0、智能制造的典型代表。在先进封装光刻机等