苏州恩腾半导体，国内头部光刻机清洗设备，成立于2017年6月，主营半导体清洗设备，半导体检测设备，光刻胶封装，掩膜版等，未上市，飞鹿股份通过投资基金持有恩腾半导体部分股权，间接参股。
公司将通过半导体清洗设备+半导体材料双业务布局来推动半导体行业国产化进程

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