张江高科：通过全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子14.21%股权。
海立股份：海立集团与上海微电子同属上海电气集团，2021年海立集团与上海微电子装备集团举行战略合作协议签约仪式。

福晶科技：公司生产的KBBF晶体是光刻机的重要的上游原材料
苏大维格：公司向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品
奥普光电：中科院长光学所持股公司42.4%的股权，其研制的国内第一套EUV光刻原理