$固高科技( 301510 )$ 公司于23年上半年有获批一项关于半导体设备运动轨迹规划的专利《光刻机运动轨迹规划方法、装置、计算机设备和存储介质》。

同花顺金融研究中心9月12日讯，有投资者向固高科技提问， 董秘你好，公司2023年上半年已经取得一种光刻机运动轨迹规划方法的专利，是否未来可以用于光刻机上？谢谢

公司回答表示，公司长期专注于运动控制及智能制造的核心技术研发，面向以半导体精密加工