一、四代同步辐射光源 HEPS 概念整理

第四代同步辐射光源就是为EUV光刻而生的！

1，同步辐射光源目前已经在建的是第四代。

2，四代同步辐射光源的特点是: -占地小(当然还是很大的，足球场);

-输入能量大为减少;

-输出光源亮度更大(四代完全达到光刻需求);

-频率可以精准控制，可以只输出13.5纳米的EUV(这一点以前是不行的，以前频谱是连续的);

一可以连续稳定工作(二代已