这段时间发酵的中国光刻机SSMB-EUV方案，大家都着重在同步辐射光源和自有电子激光，其实这些东西都是占比很小的部分，真正的受益者是 首钢股份！！
我们先来看SSMB-EUV方案是什么。

一、SSMB技术：整合两种光源优势，或能用于改良EUV光源
该论文报告了一种新型粒子加速器光源稳态微束（SSMB）的首个原理验证实验，展示了同步辐射光源与自由电子激光