粒子源供电子束→ 用射频腔加速→ 然后磁场震荡器(可能类似于模拟抑制器）配合激光作用到被加速到接近光速的电子束去形成我们想要的光源→ 分束器把光源按照规格进行分离

得到我们想要的比如3nm的 5nm的 7nm的等等

那么 粒子加速器和射频腔电子束加速的核心设备：

磁场震荡器/波荡器是调光核心

分束器是光源分离的核心

粒子加速器：

中核科技

国力股份

射频腔：

东方钽业

西部材料