[图片]


最近一篇论文在业内很火，叫做《稳态微聚束加速器光源》。是去年发表在《科学时报》上，结论就是谁说光刻机就一定要走荷兰那条路线的？

从理论上讲，真正的实现路径就是把光刻机“巨大化”，用一台周长100~150米的环形加速器作为“光源”，然后带动数台甚至数十台光刻机进行工作，这是“光刻车间”、“芯片加工流水线”。

论文中讲的——稳态微聚束，简称“ SSMB”，用它造的光刻机，就叫“SS