现在市场好多人已经认识到清华SSMB和中科院 HEPS 的区别了。

从实用性角度来看，中科院HEPS更好落地，从先进性来说，清华的SSMB更前端

上海微电子的代表是张江高科 和上海电气

长春光电所的代表就是奥普光电

最新的清华SSMB的代表就是本篇着重介绍的同方股份

清华ssmb团队主要人物是：康克军 唐传祥


新型粒子加速器光源有望助力光刻机研发中德研究团队在《自然》发表实验成果
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