苏大维格：光刻设备是公司的重点业务拓展领域，今年公司各类光刻设备订单同比增幅较大，带动上半年设备销售收入同比增长约950%。在光刻机关键器件方面，公司向上海微电子提供了其半导体领域投影式光刻机用的定位光栅部件，同时其销售的光刻设备可用于掩模等器件的制作，冠石科技的走强使得掩模版也成为近期热点之一。