10.27上海微电子装备股份有限公司发布光刻机专利，代表着离突破更近一步。上海微电子装备(集团)股份有限公司发明公布《光刻投影物镜及光刻机》申请公布号:CN116954028A。

上海微电子装备(集团)股份有限公司主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等