1.赛微电子

主要提供MEMS反射转镜，子公司Silex为全球光刻龙头公司提供微镜系统，是该公司微镜的主供

2.福晶科技

中科院福建物构所控股，曾间接供应 ASML 。子公司“至期光子”聚焦纳米精度的超精密光学元件制造及复杂光机组件的研发，后期有望提供精密光学元件、晶体

3.奥普光电

中科院长光所控股，国内高端光栅编码器龙头，布局超精尺，理论上可用于光刻机，后期有望提供光栅编码器

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